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關于低溫真空泵的簡介
關于低溫真空泵的簡介
[來源：未知]??? [作者白云泵業(yè)]??? [日期：2016-03-21 10:14]??? [熱度：]
低溫真空泵又叫低溫泵、冷泵、冷凝泵。低溫泵的冷源可以是低溫液體(液氮或液氦)，也可以是低溫制冷機。這里介紹制冷機型低溫泵，這種低溫泵的制冷機在兩個溫度級上產(chǎn)生制冷，分別冷卻兩個低溫表面，被抽的氣體就被冷卻在低溫表面上。
制冷機的一級通常工作在50K—70K范圍，它用來冷卻靠外的冷板，這個外部冷板既為更冷的冷板充當防輻射的屏蔽，同時又用來冷卻擋在泵入口處的百葉窗(障板)，當水蒸汽碰到障板上時就被冷凍在它上面，這極像液氮冷阱冷凍水蒸氣的情形。
制冷機的二級，即最冷的一級，通常工作在10K—20K之間，用來冷卻靠內(nèi)的冷板，它冷凍穿過百葉窗的N2、O2、Ar等氣體。不能被這一溫度冷凍的氣體被位于冷板內(nèi)部的活性炭吸附。
關鍵字：低溫真空泵,冷凝泵
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